性能优点
1）高精度，XY轴采用U型直线电机，重复精度≤±3μm
2）高稳定性，一体铸造成型机架具有良好的吸震性和长期可靠性
3）全自动，配置专用晶圆上下料机，实现晶圆装载、搬运、预热和校准
应用领域
晶圆级底部填充点胶/点银胶&锡膏/精密微量喷涂等
性能优点
1）高精度，XY轴采用U型直线电机，重复精度≤±3μm
2）高稳定性，一体铸造成型机架具有良好的吸震性和长期可靠性
3）全自动，配置专用晶圆上下料机，实现晶圆装载、搬运、预热和校准
应用领域
晶圆级底部填充点胶/点银胶&锡膏/精密微量喷涂等