优势:
• 适用 250mm~520mm 宽幅的卷对卷产品
• 真空腔体内 EPC 纠偏控制,保证收料精度 ±0.5mm
• 专利磁流体密封结构
• 卷对卷恒张力恒速度控制
• 独立等离子反应区隔离,减小等离子对其他机构的影响
• 传动件及绝缘件均采用高频陶瓷材质
优势:
• 适用 250mm~520mm 宽幅的卷对卷产品
• 真空腔体内 EPC 纠偏控制,保证收料精度 ±0.5mm
• 专利磁流体密封结构
• 卷对卷恒张力恒速度控制
• 独立等离子反应区隔离,减小等离子对其他机构的影响
• 传动件及绝缘件均采用高频陶瓷材质