六氟化硫的独特性能源于其高度对称的分子结构，可概括为“稳、重、绝、灭”四大关键词：
- 极致的化学稳定性：分子呈正八面体结构，键能高，在常温常压下几乎不与任何物质反应。即使在500℃高温下也保持稳定，不燃烧、不支持燃烧。
- 高密度：密度约为空气的5倍，是一种重气体，易在密闭空间或低洼处积聚。
- 卓越的绝缘性能：作为强电负性气体，其分子极易吸附自由电子形成负离子，削弱碰撞电离过程。在均匀电场中，其绝缘强度约为空气的2.5倍。
- 超强的灭弧能力：在交流电弧电流过零时，对弧道的冷却作用极强，灭弧能力约为空气的100倍，能在几十毫秒内熄灭数万安培的故障电流。
应用领域
电力工业绝缘与灭弧高压断路器、气体绝缘全封闭组合电器(GIS)、变压器、电缆 - 半导体制造等离子体刻蚀与清洗集成电路晶圆刻蚀、工艺腔室清洗
医疗与科研安全造影与示踪超声造影剂、眼科手术填充气、环境示踪剂
金属冶炼防止氧化镁合金、铝合金熔炼过程中的保护气体