- 高纯气体通常用于特定工艺，具有高度专一性。除了单一组分气体，还有大量根据客户工艺需求精确配比的混合气体，如用于色谱分析的标准气、用于激光器的混合气等。
- 包装与运输要求高：为防止在储存和运输过程中发生二次污染，高纯气体需采用特殊处理的高压钢瓶（如内壁电解抛光）、杜瓦罐或集装格，并配备高密封性阀门
应用领域
半导体与光电芯片刻蚀、清洗、沉积、掺杂、光纤拉制高纯氮、氩、氦、硅烷、六氟化硫
医疗与生命科学呼吸麻醉、MRI超导磁体冷却、细胞培养医用氧、笑气、液氦、高纯氦
科研与实验室分析仪器载气、保护气、低温物理实验高纯氦、氮、氩、液氮
环境监测大气污染检测设备校准含SO₂、NO、CO等的标准混合气
工业制造激光切割、精密焊接保护、检漏激光混合气、高纯氩、氦/氮检漏气
